가변 고압 펄스전원장치

본 발명은 가변 고압 펄스전원장치에 관한 것으로서, 다단계로 구축된 전력반도체를 통해서 고전압 펄스전원을 스위칭 방식으로 구현하여 부하장치의 요구조건에 따라 가변되는 펄스 전압, 펄스 폭 및 향상된 펄스 반복률을 가지는 펄스전원을 공급할 수 있는 가변 고압 펄스전원장치에 관한 것이다. 본 발명의 가변 고압 펄스전원장치는 전력반도체를 이용한 고압 펄스전원장치에 있어서, 교류 전력을 고주파 교류변환 후 직류전력으로 변환하는 입력전원 생성부, 입력전원을 충전용 커패시터에 충전 및 방전하는 전력반도체 스위칭부, 여러 단의 전력반도체 스위칭부를 연결하는 구조로서, 연결되는 단의 개수에 따라서 충전되는 커패시터의 용량이 증가하고 입력 전원이 승압되도록 하는 고전압 생성부 및 고전압 생성부를 구성하는 각 단의 전력반도체 스위칭부를 동시에 제어하며 주변 노이즈를 차폐하도록 광신호 처리하여 게이트를 구동하는 제어부를 포함함에 기술적 특징이 있다.