ラック、ラックシステム、熱処理装置、並びに、熱処理システム

【課題】被加熱物を高密度に積載して熱処理することが可能な熱処理装置、並びに、当該熱処理装置を備えた熱処理システムの提供を目的とする。 【解決手段】熱処理システム１は、移載装置２と熱処理装置１０とを有する。熱処理装置１０は、熱処理室１３内にラック３０を有し、これに複数の棚部材４０が上下方向に複数取り付けられた構成とされている。棚部材４０は、平行に配された３本の横梁４１に対して略直行するように縦梁４２を配して接合したものであり、縦梁４２に沿って移載装置２のハンド部３を差し込むことにより基板を出し入れできる構成とされている。 【選択図】図４