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Acemap > Paper > 水蒸気を用いたプラズマ誘起原子層堆積法によるAl₂O₃膜の形成 (シリコン材料・デバイス)

水蒸気を用いたプラズマ誘起原子層堆積法によるAl₂O₃膜の形成 (シリコン材料・デバイス)

2014 
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