Microphone à fibre optique mems

L'invention concerne la theorie, la conception, la fabrication et la caracterisation d'un microphone a fibre optique a diaphragme de type Fabry-Perot MEMS (systeme micro electromecanique). En utilisant la technologie MEMS dans le traitement et le conditionnement, un carre de 1,9 mm x 1,9 mm, un diaphragme de SiO2 de 2 µ d'epaisseur avec un centre gaufre de 350 µ carres de silicium est mecaniquement verrouille sur la virole d'une fibre a mode unique pour maintenir sa proximite (5 µ) et son orientation perpendiculaire par rapport au diaphragme. Une mesure statique de puissance de sortie optique par rapport a la pression sur la membrane revele plus d'une periode d'interference de type Fabry-Perot, generant ainsi un dispositif d'interferometre a fibre a diaphragme de type Fabry-Perot reproduisant de maniere precise une onde acoustique sonore.