다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법

실리콘 기판 표면에 에칭 마스크를 패터닝하는 단계; 및상기 에칭 마스크가 패터닝된 상기 실리콘 기판 표면에 대해 화학적 에칭을 수행하는 단계를 포함하되,상기 화학적 에칭은 식각 용액의 조성, 식각 시간, 식각 용액의 온도로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 공정 조건을 연속적으로 변화시켜 수행함으로써, 길이 방향의 직경이 변하는 실리콘 와이어를 형성하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법.