Chirping multi-beam laser apparatus and method for difference measurement of an outer thickness of the glass

线性调频多光束激光外差测量玻璃厚度的装置及方法，属于精密玻璃厚度测量技术领域。 解决了现有激光外差信号频谱解调后只能得到单一的待测参数值，导致测量玻璃厚度的误差大的问题。 本发明的调频激光器发射的激光经二号反射镜反射后入射至一号反射镜，经一号反射镜反射后的光束入射至平面玻璃；该入射光经平板玻璃的前表面与平板玻璃的后表面多次反射后获得多束反射光，该多束反射光经平板玻璃透射之后经会聚透镜汇聚至光电探测器的光敏面上；经光电探测器进行光电转换后的电流信号发送至滤波器经滤波器的滤波后信号输出至前置放大器，再经A/D转换器转换后发送至数字信号处理器。 本发明适用于测量玻璃厚度。