スタンパ用アルミニウム原型とその製造方法、アルミニウム原型用素材、スタンパとその製造方法、および転写物の製造方法
2013
【課題】にじにじ模様の発生を防止したスタンパ用アルミニウム原型とその製造方法、アルミニウム原型用素材、スタンパとその製造方法、および転写物の製造方法を提供する。 【解決手段】表面に存在する結晶粒のうち,{001}面との方位差が0〜30度,30〜40度,40度以上で定義される領域のうち,最も面積率の高い領域を除く,結晶粒の集団のサイズが50μm以下であることを特徴とするスタンパ用アルミニウム原型。望ましくは、前記アルミニウム原型はMgを0.1〜3.0wt%含有し、不可避的不純物としてFeの含有量が200ppm及びSiの含有量が100ppm以下であり、不可避的不純物の合計(ただし、Fe,Siも含む)が500ppm以下である。 【選択図】なし
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