Dispositif semi-conducteur
2002
L'invention concerne un dispositif semi-conducteur qui permet d'eliminer partiellement la matiere de base d'un substrat semi-conducteur (2) de l'arriere d'une region partielle d'un câblage allant jusqu'a un element semi-conducteur (2) dispose a la surface d'un substrat semi-conducteur (1) a partir d'une section de diaphragme (4) comportant des films d'isolation superieur et inferieur d'un câblage avant (3). Une partie du film d'isolation a l'arriere du diaphragme presente une fenetre de contact (10) allant jusqu'au câblage avant, et un câblage arriere (6) forme a l'arriere du substrat via le film d'isolation est connecte electriquement au câblage avant a travers la fenetre de contact. Le câblage arriere est connecte electriquement a une plage de connexion d'entree/de sortie arriere (12), et une resine d'isolation (19) enrobe l'ouverture arriere de la section de diaphragme.
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