基于SU-8材料的无源-有源集成式电光开关设计与制备

对基于SU-8紫外负性光刻胶的无源-有源集成式电光开关进行了系统的研究。首先用物理掺杂的方法制备出价格低廉、性能良好的主客掺杂型电光材料DR1／SU-8，反射法测量其电光系数约为11．5pm／V@1310nm。为减小器件的插入损耗，设计了有源芯层为DRl／SU-8、无源芯层为SU-8的倒脊形混合集成式波导结构。制作完CPW行波电极后，对器件进行接触极化。实验测得开关的上升时间和下降时间分别为5．6μs和5．2μs，插入损耗为13．8dB，与只用DRl／SU-8作为波导芯层的器件相比，插入损耗减小了约2．8dB。实验结果表明，这种无源一有源集成式电光波导有效地减小了器件的插入损耗，为制备低损耗的电光器件和单片多功能集成器件奠定了一定的基础。