Implantation oblique pour enlevement de minces couches de film

La presente invention concerne, dans certains modes de realisation, un dispositif comprenant une electrode de grille a conicite inverse et une couche dielectrique de grille ayant une longueur proche de celle de la grille. Dans un mode de realisation, cette configuration peut etre obtenue par modification de parties d’une couche dielectrique de couverture avec une ou plusieurs implantations ioniques obliques, puis enlevement des parties modifiees de la couche dielectrique de couverture.