Ｘ線ビーム源、ｘ線ビーム照射装置、ｘ線ビーム透過撮影装置、ｘ線ビームｃｔ装置、ｘ線元素マッピング検査装置及びｘ線ビーム形成方法

【課題】Ｘ線ビームを形成する小型かつ軽量のＸ線ビーム源を得る。 【解決手段】Ｘ線ビーム源１３は、絶縁材１に挿入され電圧を印加する導入線２と、導入線２の一端に設けられた陰極と、陰極と対面して設けられ発生した電子ビームを衝突させてＸ線を発生させる陽極であるターゲット６と、導入線２、陰極及びターゲット６を収納しＸ線が通過するＸ線透過窓５を有する真空容器７と、Ｘ線透過窓５の外側に設けられＸ線から特性Ｘ線を選択的に取り出すフィルタ８と、真空容器７及びフィルタ８を収納するハウジング１０と、ハウジング１０に設けられ特性Ｘ線を収束するＸ線集光素子であるフレネルゾーンプレート（ＦＺＰ）９と、を有する。 【選択図】図１