Magnetoresistiver Sensorchip mit mindestens zwei als Halb- oder Vollbrücke ausgebildeten Meßelementen
1998
Magnetoresistiver Sensorchip mit mindestens zwei als Halb- oder Vollbrucke ausgebildeten Meselementen, von denen das erste ein periodisches Ausgangssignal proportional zum Kosinus des doppelten Winkels der Magnetfeldrichtung gegen eine Linie auf dem Chip und jedes weitere Meselement ein periodisches, zum Signal des ersten Meselementes unterschiedlich phasenverschobenes Ausgangssignal abgibt, und bei dem die magnetoresistiven Schichtstreifen (4), die die Widerstande der jeweiligen Meselemente bilden, auf der Chipflache (1) in Bereichen (2) , deren Vorzugsrichtungen (3) in den jeweiligen Bruckenzweigen (8; 9) senkrecht zueinander verlaufen, untergebracht sind, dadurch gekennzeichnet, das die Langsrichtungen der magnetoresistiven Schichtstreifen (4) oder Schichtstreifenabschnitte (5) paarweise gleiche positive und negative Neigungswinkel mit den Vorzugsrichtungen der jeweiligen Bereiche (2) bilden.
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