산화물 반도체용 조성물 및 이를 이용한 박막 트랜지스터 기판의 제조방법

개시된 산화물 반도체용 조성물은 금속 나이트레이트 및 물을 포함하며, pH가 1 내지 4이다. 박막 트랜지스터 기판의 제조 방법에 따르면, 기판 상에, 상기 산화물 반도체용 조성물을 코팅하여 박막을 형성하고, 상기 박막을 열처리하고, 상기 박막을 패터닝하여 반도체 패턴을 형성한다. 상기 박막 트랜지스터 기판은 게이트 전극, 반도체 패턴, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다.