Film mince d'oxyde de tantale et stratifié à films minces

Dans les stratifies a film mince, une delamination peut se produire au cours du temps a une interface entre un film mince d'oxyde metallique et un film mince de metal, ou entre un film mince d'oxyde metallique et un film mince d'oxyde metallique. Par consequent, l'invention porte sur un film mince d'oxyde de tantale amorphe avec une contrainte interne inferieure. Le film mince d'oxyde de tantale amorphe est forme sur un substrat transparent par une methode de pulverisation cathodique, et si la densite theorique dudit film mince d'oxyde de tantale est ρ 0 et la densite mesuree est ρ, la valeur representee par (ρ / ρ 0 ) x 100 est de 75 – 95 % en volume.