반도체 광원을 이용한 노광장치

본 발명은 반도체 광원을 이용한 노광장치에 관한 것으로, 노광하고자 하는 패턴이 표시되어 있는 마스크(mask)(121)에 자외선을 조사(凋謝)하여 투광시켜 노광하고자 하는 노광재료(131)를 노광시키는 노광모듈(110)을 포함하여 구성되는 노광장치에 있어서, 상기 노광 모듈(110)은 모듈 본체(112)의 전면에 설치된 자외선 엘이디(UV LED)(111)와, 상기 모듈 본체(112)의 후면에 형성된 방열핀(Heat sink Pin)(113)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 광원을 이용한 노광장치(100)에 관한 것이다. 본 발명에 의하는 경우, 수명이 길고, 소비전력이 매우 작아 에너지효율이 높으며, UV LED자체의 크기가 작고 구동에 필요한 부가 장치들이 없기 때문에 전체 장치의 크기를 작게 제작하는 것이 가능하며, 수은을 사용하지 않기 때문에 친환경적이라는 장점이 있다. 또한, UV LED module의 형태를 bar 내지는 면 형태로 제작할 경우 대면적에 대한 노광도 효율적으로 수행할 수 있는 장치 구성이 가능하며, UV LED module에서 사용하는 UV LED의 종류를 변경할 경우(UV 파장의 종류를 변경할 경우) 여러 종류의 UV 파장을 이용할 수 있어 형성시킬 수 있는 패턴의 구현 가능한 선폭을 쉽게 조절 가능하다는 장점이 있다. 노광, 자외선, 엘이디, 반도체