Facettenspiegel aus Facettenmodulen mit mehreren Facetten

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Facettenspiegeleinheit, insbesondere fur die Mikrolithographie, mit einer Mehrzahl von Facettenmodulen (110) und einem Modultrager (109), wobei die Facettenmodule (110) auf dem Modultrager (109) abgestutzt sind. Wenigstens ein Facettenmodul (110) umfasst einen Facettenelementtrager (110.6) und eine Facettenelementgruppe (110.5) aus einer Mehrzahl von Facettenelementen (110.1 bis 110.4), wobei die Facettenelementgruppe (110.5) auf dem Facettenelementtrager (110.6) angeordnet ist und wenigstens ein erstes Facettenelement (110.1 bis 110.4) der Facettenelementgruppe (110.5) als separat gefertigte und nach ihrer Fertigung mit einem zweiten Facettenelement (110.1 bis 110.4) der Facettenelementgruppe (110.5) und/oder dem Facettenelementtrager (110.6) verbundene Komponente ausgebildet ist.