Article abrasif comprenant un systeme de fenetre, destine au polissage des plaquettes, et procedes

L'invention concerne un procede permettant la planarisation, le polissage ou une autre modification de la surface (22) d'une plaquette ou d'une autre piece. Ce procede comprend l'utilisation d'un article (140) abrasif qui presente un revetement (146) abrasif structure fixe sur un support. Cet article abrasif comprend un element de surveillance, par exemple une fenetre (148), qui laisse passer un rayonnement. La surveillance du niveau du rayonnement pendant tout le processus de planarisation permet de detecter l'approche du point souhaite de fin de processus. La fenetre dans le revetement abrasif peut etre constituee d'une zone sans revetement abrasif ou d'une zone presentant un revetement abrasif minimal ou dont l'epaisseur a ete reduite.