절연된 도전성 패턴의 제조 방법 및 적층체

2010 
본 발명은 기판상에 도전성 막 및 절연층 패턴을 형성(forming)하고, 상기 절연층 패턴을 마스크로 이용하여 상기 도전성 막을 에칭함으로써 도전성 패턴을 형성한 후, 상기 도전성 패턴을 덮도록(covering) 상기 절연층 패턴을 재형성(reforming)하는 것을 특징으로 하는 절연된 도전성 패턴의 제조 방법 및 이에 따라 제조된 적층체를 제공한다. 본 발명에 따르면, 기존의 공정에 비해 공정 수가 대폭 줄어들고, 경제성이 크게 향상될 수 있다.
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