Verfahren zur Korrektur von Platzierungsfehlern

Es wird ein Verfahren zur Korrektur von Platzierungsfehlern (V i ) von mindestens einem auf einer Oberflache (2) eines Substrats (1) angeordneten Strukturelement (3) angegeben. Das Verfahren umfasst ein Bestimmen einer lateralen Position des mindestens einen Strukturelements (3) relativ zu einem vorgegebenen Koordinatensystem (X, Y), ein Vergleichen der bestimmten lateralen Position des mindestens einen Strukturelements (3) mit einem vorgegebenen lateralen Positionswert (P i ) fur das mindestens eine Strukturelement (3) und Bestimmen eines Platzierungsfehlers (V i ) fur das mindestens eine Strukturelement (3), ein Festlegen einer Strahlungsdosis mindestens eines Lichtstrahls (5) und Bestimmen mindestens eines Abschnitts (15) des Substrats (1) in Abhangigkeit von dem Platzierungsfehler (V i ) sowie das Durchfuhren einer lokalen Bestrahlung des Substrats (1) mit dem mindestens einen Lichtstrahl (5) mit der Strahlungsdosis zur Erzeugung einer lokalen Dichtevariation des mindestens einen Abschnitts (6) des Substrats.