Mullite sintered body, its preparation and composite substrate

本発明のムライト焼結体は、不純物元素の含有量が１質量％以下のムライト焼結体であって、ムライト焼結粒の平均粒径が８μｍ以下であり、研磨仕上げした表面に存在する気孔の最大部長さの平均が０．４μｍ以下のものである。 前記表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）は３ｎｍ以下であることが好ましい。 前記表面の最大高さ（Ｒｐ）は３０ｎｍ以下であることが好ましい。 前記表面に存在する気孔数は、４μｍ×４μｍの面積当たり、１０個以下であることが好ましい。