Compositions et procédés pour effectuer la gravure sélective du nitrure de titane

L'invention concerne des compositions utiles pour l'elimination selective du nitrure de titane et/ou des matieres de residu de gravure de resine photosensible relatifs a des materiaux conducteurs metalliques d'un dispositif microelectronique sur lequel ils se trouvent. Les compositions d'elimination contiennent au moins un oxydant, un agent de gravure, et un activateur pour ameliorer la vitesse de gravure du nitrure de titane.