Old Web
Mikrolithographie-Projektionsobjektiv, Projektionsbelichtungsanlage mit einem derartigen Objektiv, Herstellungsverfahren mikrostrukturierter Bauteile mit einer derartigen Projektionsbelichtungsanlage sowie mit diesem Verfahren hergestelltes Bauteil
2006
Objektiv,
insbesondere Projektionsobjektiv, insbesondere fur die EUV-Mikrolithographie zur
Abbildung eines Objektives in einer Objektebene in ein Bild in einer
Bildebene, wobei mindestens eine der optischen Oberflachen eine
Splineflache
ist.
- Correction
- Source
- Cite
- Save
- Machine Reading By IdeaReader
0
References
0
Citations
NaN
KQI