Appareil de production de plasma a basse temperature et a pression atmospherique

2002 
L'invention concerne un appareil de production de plasma a basse temperature et a pression atmospherique. Cet appareil comprend: une paire d'electrodes disposees l'une en face de l'autre a une certaine distance, une de ces electrodes etant connectee a une alimentation et l'autre etant mise a la terre; une paire d'elements dielectriques d'une epaisseur comprise entre 25νm et 10mm, positionnes sur les surfaces en regard des electrodes, de maniere a etre l'un en face de l'autre, un de ces elements renfermant au moins un espace de decharge; et une electrode conductrice presentant au moins un embout positionne a l'interieur de l'espace de decharge, un champ electrique etant applique a une intensite comprise entre 1 et 100KV/cm par l'intermediaire de l'alimentation, via les electrodes, au moyen d'une impulsion de courant direct et de courant alternatif dans une largeur de bande de frequence comprise entre 50Hz et 10 GHz, pendant qu'un gaz de reaction est alimente entre les electrodes, de maniere a induire une decharge de cathode creuse, une decharge capillaire ou une accumulation importante de charges a partir de l'espace de decharge. L'appareil selon l'invention empeche la formation d'arcs dans le plasma et permet d'obtenir un plasma de densite elevee stable a basse temperature.
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