열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 에너지 효율적으로 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템

본 발명은 반도체 제조장비의 온도조절장치인 칠러(chiller)에 열전모듈(Thermoelectric Module)을 적용하여 냉매를 냉각 또는 가열상태로 전환하도록 하는 경우 발생되는 데드존의 제어 불안정을 에너지 효율적으로 회피할 수 있도록 한 열전소자 극성전환시 발생되는 데드존을 에너지 효율적으로 회피하는 반도체 제조 설비의 온도제어시스템에 관한 것으로, 열전모듈 블록을 복수로 구성하고 데드존에 해당하는 제어값이 얻어질 경우 열전모듈 블록을 구분하여 상이한 방식으로 제어함으로써, 실제 PID 제어값이 데드존 영역을 벗어나도록 하여 제어 안정성을 크게 높일 수 있는 효과가 있음과 아울러, 이러한 데드존 제어 시 발생되는 과도한 전력 소모를 줄이기 위해서 제어량의 제어 범위가 일정 수준 이하일 경우 사용할 열전모듈 블록의 수를 줄이는 방식으로 조절하여 가능한 제어범위가 데드존 영역을 벗어나도록 하는 구성을 더 추가하여 제어 안정성과 에너지 효율성을 모두 만족시킬 수 있도록 하는 뛰어난 효과가 있다.