Степень ионизации потока распыленных атомов металла в магнетроне с полым катодом

Приведены результаты исследования параметров плазмы нового источника плазмы – магнетрона с полым катодом с мощностью разряда 0.5–4 кВт при давлении разряда 5–20 мТор. При мощности разряда свыше 2-х кВт на выходе образуется плазма с концентрацией более 1011 см3 до расстояний 30 см от среза магнетрона. С помощью сеточных кварцевых микровесов проведены измерения степени ионизации потока атомов меди в зависимости от давления и мощности разряда, а также расстояния от мишени. На расстоянии 31 см при давлении разряда более 15 мТорр эта величина превышает 50%.