Überprüfbarer, feuchtigkeitspassivierter, planarer, indexgeführter VCSEL und Verfahren

Vertikalhohlraumoberflachenemissionslaser (VCSEL) (10) mit folgenden Merkmalen: einer Vertikalstapelstruktur, die eine obere Oberflache aufweist, mit folgenden Merkmalen: einem oberen Spiegel (14), einem unteren Spiegel (16), einer Hohlraumregion (12), die zwischen dem oberen Spiegel (14) und dem unteren Spiegel (16) angeordnet ist und eine aktive Lichterzeugungsregion umfasst, wobei zumindest entweder der obere Spiegel (14) oder der untere Spiegel (16) zumindest eine Schicht aufweist, die eine Offnungsregion definiert, wobei die Offnungsregion eine Region in der Vertikalstapelstruktur ist, die eine hohere elektrische Leitfahigkeit als eine umgebende Peripherieregion aufweist; wobei die Vertikalstapelstruktur zumindest einen Seitenwandbereich definiert, der sich von der oberen Oberflache bis zumindest in eine Tiefe erstreckt, die der Offnungsregion (30) entspricht; und einem Defektindikatorsystem (35), das in einer Uberprufungsregion in dem Seitenwandbereich angeordnet ist, wobei das Defektindikatorsystem (35) eine Indikatorschicht (37) mit einer chemisch veranderbaren optischen Eigenschaft und eine Barriereschicht (39) umfasst, die...