РАСПЫЛЕНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ НИТРИДА БОРА РАЗНОЙ СТРУКТУРЫ

Приводятся результаты, полученные при исследовании распыления монокристаллов нитрида бора гексагональной, ромбоэдрической и кубической модификаций с помощью моделирования на ЭВМ. Представлены данные по распылению грани (0001) BN двух графитоподобных модификаций и грани (111) для кристаллов BN с кубической решеткой. Рассмотрены энергетические и угловые зависимости коэффициентов распыления, а также пространственные и энергетические распределения распыленных частиц для случая нормального и наклонного падения ионов. Проанализированы особенности анизотропии пространственных распределений распыленных частиц и механизмы их формирования.