Microscope ionique à balayage et procédé de commande de particule secondaire

La presente invention aborde le probleme de permettre une inspection detaillee d'un echantillon et d'empecher une distorsion d'une image d'observation meme lorsqu'un echantillon contenant une matiere isolante est partiellement charge. Pour un microscope ionique a balayage (200) utilisant une source d'ions a ionisation de champ de gaz (100), un film mince (80) est dispose entre un systeme optique ionique (300) et un echantillon (6) et un faisceau d'ions est distribue a et a travers ce film mince (80) afin de focaliser un faisceau neutralise sur l'echantillon. De plus, une electrode (82) pour reguler des electrons secondaires decharges de ce film mince (80) est fournie afin d'eliminer un melange de bruits dans une image d'observation.