Dispositif de fabrication d'un film mince et procédé de fabrication d'un film mince

2007 
L'invention concerne un dispositif de fabrication d'un film mince correspondant a un dispositif de traitement par decharge plasma en vue de la mise en œuvre d'un traitement par decharge plasma sur la surface d'une base transportee en continu sous pression atmospherique ou quasiment, tout retour en arriere du gaz de traitement etant evite, avec pour resultat l'obtention d'un film mince de qualite superieure grâce a un courant gazeux constant. Le dispositif de fabrication du film mince est caracterise en ce qu'il possede un dispositif de decharge de gaz auxiliaire en vue de la decharge d'un gaz auxiliaire afin d'eviter un retour en arriere du gaz de traitement. L'invention concerne egalement un procede de fabrication d'un film mince et un film mince.
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