Filtres de fabry-perot accordables bases sur des systemes microelectromecaniques (mems) et procedes de fabrication correspondants

2002 
L'invention concerne un filtre de Fabry-Perot accordable base sur des systemes MEMS (100) plus fiables, moins couteux et presentant une meilleure performance que les filtres optiques accordables de l'art anterieur.
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