Procede et dispositif pour determiner la composition chimique d'une contamination residuelle d'une piece

L'invention concerne un dispositif de surveillance electronique qui archive les expositions a des produits chimiques d'une partie consommable a l'interieur d'un outil de traitement semi-conducteur. Ce dispositif de surveillance comporte une unite memoire associee a la partie consommable et servant au stockage de l'historique des expositions a des produits chimiques de ladite partie consommable, un processeur en communication avec l'unite memoire, et un circuit d'alimentation qui fournit du courant au processeur et a l'unite memoire.