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0.18-0.25μm世代先進マスク製作のためのAZ5206/CrとZEP7000/Crのプラスマ・エッチング
0.18-0.25μm世代先進マスク製作のためのAZ5206/CrとZEP7000/Crのプラスマ・エッチング
1998
Wilman Tsai
Frederick T. Chen
Marilyn Kamna
Scott Chegwidden
Steven Labovitz
Jeff Farnsworth
Giang T. Dao
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