웨어러블 화학가스센서 및 이의 센싱 방법

2016 
높은 감도를 가지고 화학가스의 성분 및 농도를 감지할 수 있는 웨어러블 화학가스센서 및 이의 센싱 방법이 제공된다. 이 웨어러블 화학가스센서는, 플렉시블 기판 상에 형성되어 화학가스가 흡착되는 화학가스 센싱부와, 화학가스가 흡착됨에 따라 화학가스 센싱부의 정전용량 변화를 측정하여 화학가스의 성분 및 농도를 산출하는 정전용량 측정부와, 화학가스의 성분 및 농도에 관한 정보를 외부 모바일 디스플레이로 전송하는 무선 송수신부를 포함한다. 여기서, 화학가스 센싱부는 게이트 전극, 게이트 전극 상에 절연되어 서로 이격되게 형성된 소스 및 드레인 전극, 및 마주보는 소스 및 드레인 전극 사이에 소스 및 드레인 전극에 대하여 수직으로 정렬된 다수의 탄소나노튜브로 구성된 탄소나노튜브층을 포함할 수 있다. 또한, 정전용량 측정부는 화학가스가 탄소나노튜브층에 흡착되면 소스 및 드레인 전극 사이의 정전용량의 변화를 측정하여 화학가스의 성분 및 농도를 산출할 수 있다.
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