オゾン生成装置、及び、オゾン生成方法

【課題】 劣化及び剥離等の心配がなく、高電圧・大電流を印加する電気分解等を安定して行うことが可能な電極、及び、その電極を利用したオゾン生成装置，オゾン生成方法の提供。 【解決手段】 固体高分子膜７を挟んで陽極３と陰極５とを配設し、陽極３が設けられた陽極室１３の供給口１３ａ、及び、陰極５が設けられた陰極室１５の供給口１５ａから、それぞれ純水を供給しながら、陽極３と陰極５との間に直流電流を通電する。すると、陽極室１３の取出口１３ｂからオゾン水が排出される。このような電解セル１において、陽極３として、マイクロ波プラズマＣＶＤ法で厚さ０．８ｍｍに形成された自立体型導電性ダイヤモンド板に、直径１ｍｍの孔を中心間距離が２ｍｍとなるように穿設したものを使用した。このため、陽極３と陰極５との間に高電圧・大電流を印加しても、陽極３の剥離を起こすことなく安定してオゾンを生成することができる。 【選択図】図１