层间热处理对SiO 2 /ZrO 2 双层膜的影响

以正硅酸乙酯和丙醇锆为前驱体,用溶胶-凝胶法在K9基片上提拉镀制SiO2/ZrO2双层膜。采用不同实验步骤制备了2个样品,样品1镀完SiO2后直接镀ZrO2 ，样品2镀完SiO2经热处理后再镀ZrO2。采用原子力显微镜、椭偏仪、紫外-可见分光光度计对薄膜进行表征。针对SiO2/ZrO2双层膜，考虑到膜间渗透的影响，采用３层Cauchy模型进行椭偏模拟，椭偏参数的模拟值曲线与椭偏仪的测量值曲线十分吻合，进而发现热处理可以使SiO2/ZrO2双层膜之间的渗透减少近23 nm，从而提高其峰值透射率。利用输出波长1.064 mm，脉宽8.1 ns的激光束对样品进行了损伤阈值的测试，用光学显微镜观察损伤形貌，结果发现两者损伤阈值分别为13.6 J/c2和14.18 J/cm2，均为膜的本征损伤。