Halbleiterbauelement mit einer lateral modulierten Gate-Austrittsarbeit und Herstellungsverfahren
2005
Transistor,
welcher umfast eine
Gate-Elektrode, welche auf einer auf einem Substrat gebildeten Gatedielektrikumsschicht
gebildet ist; ein Paar von Source-/Drainzonen, welche in dem
Substrat auf entgegengesetzten Seiten der einander lateral entgegengesetzten
Seitenwande
der Gate-Elektrode gebildet sind; und wobei die Gate-Elektrode
einen zentralen, auf der Gatedielektrikumsschicht uber der
Substratzone zwischen den Source-/Drainzonen gebildeten Abschnitt
und ein Paar von Seitenwandabschnitten aufweist, welche mit einem
Abschnitt der Source-/Drainzonen uberlappen, wobei der zentrale
Abschnitt eine erste Austrittsarbeit und das Paar von Seitenwandabschnitten
eine zweite Austrittsarbeit aufweisen, wobei sich die zweite Austrittsarbeit
von der ersten Austrittsarbeit unterscheidet.
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