研削ホイールのツルーイング工具及びその製作方法、これを用いたツルーイング装置、研削ホイールの製作方法、並びにウェハーエッジ研削装置

【課題】研削ホイールの寿命を向上させ、ウェハーエッジを品質規格に適合するように加工できる研削ホイールのツルーイング工具及びその製作方法、これを用いたツルーイング装置、研削ホイールの製作方法、並びにウェハーエッジ研削装置を提供する。 【解決手段】本発明によるツルーイング工具（truing tool）は、ウェハーエッジを精削するための精削ホイールのグルーブを補正するためのツルーイング工具であって、前記精削ホイールのグルーブの傾斜面と同じ傾斜を持ち、前記グルーブの断面形状と対応する形状で形成されたツルーア（truer）からなる。前記ツルーイング工具を用いることでウェハーエッジを精削する研削ホイールのグルーブを容易に加工することができる。 【選択図】図１０