樹脂量決定装置、および、当該樹脂量決定装置を備えた樹脂封止装置
2008
【課題】個々の半導体チップのデータを予め記憶することなく、より簡易に且つ必要レベルの精度をもって樹脂の必要量を判断する。 【解決手段】半導体チップ積層体102を有する基板100を樹脂にて封止する樹脂封止装置1であって、積層体102が正常に積層された場合の当該積層体全体の体積Vaを予め記憶する記憶部10と、積層体102の積層高さHを検知するレーザセンサ40と、積層体102の積層高さ方向に1つ以上の閾値eを設定することにより積層体102の積層高さ方向の領域幅が均等な仮想領域を設定しておき、更に、レーザセンサ40の検知結果に基づいていずれかの仮想領域を選択し、該選択した仮想領域に対応する所定割合に相当する樹脂を基準量に対して増加または減少させた上で当該増減後の樹脂を供給する。 【選択図】図2
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