Polysilicon thin film transistor and a method of manufacturing a display device and
2015
本发明提供一种多晶硅薄膜晶体管及制作方法和显示装置,所述多晶硅薄膜晶体管包括:衬底;形成于所述衬底上的隔离层;形成于所述衬底和所述隔离层上的多晶硅有源层,在所述有源层的两侧形成有两个源漏离子注入区,其中,所述隔离层的两端边缘在所述有源层的两端边缘内。 在本发明提供的多晶硅薄膜晶体管及其制作方法中,能够增大有源层的晶粒尺寸,提高其沟道区的晶粒均匀性,有效避免有源层受背光照射特性恶化,提高了器件的可靠性。
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