感光性樹脂組成物、硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイスおよび化合物

保存安定性に優れ、感度の高い感光性樹脂組成物、ならびに、感光性樹脂組成物を用いた硬化膜、積層体、硬化膜の製造方法、半導体デバイスを提供する。また、感光性樹脂組成物を形成するために用いる新規な化合物を提供する。ポリイミド前駆体およびポリベンゾオキサゾール前駆体から選択されるポリマー前駆体と、硫黄原子を有するラジカル重合性化合物と、光ラジカル重合開始剤と、溶剤とを含む感光性樹脂組成物。