Procede de detection d'une profondeur d'erosion d'un corps-cible et corps-cible utilise dans ce procede
1990
Afin de detecter le moment ou l'erosion d'un corps-cible (1) soumis a une pulverisation cathodique a atteint une profondeur determinee (D), un point de discontinuite est forme sur le corps-cible par un materiau primaire a pulveriser (M1) et par un materiau temoin (M2). Un transducteur de mesure (11) genere des signaux de mesure en mesurant une grandeur (s) qui se propage a travers l'atmosphere de traitement (P) ou des dispositifs d'alimentation en energie electrique.
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