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미세 표면 구조물을 갖는 패드의 제작 및 STI CMP 특성 연구
미세 표면 구조물을 갖는 패드의 제작 및 STI CMP 특성 연구
2008
정석훈
정재우
박기현
서헌덕
Park Jae Hong
Boumyoung Park
주석배
최재영
Haedo Jeong
Keywords:
Nanotechnology
Materials science
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