A method for determining a property of a structured layer

Verfahren zum Ermitteln einer lateralen Abmessung oder eines Volumens einer Ausnehmung in einer Schicht an einer Oberflache eines Substrats oder einer Eigenschaft eines Materials, das in der Ausnehmung angeordnet ist, mit folgenden Schritten: Bestrahlen (102) der Schicht (10) mit der Ausnehmung (16) mit einer elektromagnetischen Abtast-Strahlung mit einer Wellenlange, die groser ist als eine laterale Abmessung der Ausnehmung (16); Empfangen (104) einer elektromagnetischen Antwort-Strahlung, die aus einer Wechselwirkung zwischen der Abtast-Strahlung mit der Schicht (10) und der Ausnehmung (16) hervorgeht; Bestimmen (106) von Charakterisierungsdaten, welche die Wechselwirkung zwischen der Schicht (10) mit der Ausnehmung (16) und der Abtast-Strahlung charakterisieren, aus der empfangenen elektromagnetischen Antwort-Strahlung, wobei die Charakterisierungsdaten die laterale Abmessung oder das Volumen der Ausnehmung (16) oder die Eigenschaft des in der Ausnehmung (16) angeordneten Materials abbilden; und Ermitteln (108, 110, 112, 114) der lateralen Abmessung oder des Volumens der Ausnehmung (16) oder der Eigenschaft des...