화학 기계적 연마 방법

화학 기계적 연마 방법에서, 기판은 제 1 상부면을 갖는 제 1 단차부를 포함한다. 기판 상에 제 1 상부면보다 높은 제 2 상부면을 갖는 제 1 연마 대상막을 형성한다. 제 2 상부면에는 제 1 단차부와 실질적으로 대응되게 제 2 단차부들이 형성되어 있다. 제 1 연마 대상막에 대한 제 1 연마 공정을 수행하여 제 2 단차부의 높이를 낮춘다. 따라서, 평탄한 제 2 연마 대상막을 형성한다. 제 1 단차부의 상부면이 노출될 때까지 상기 제 2 연마 대상막에 대한 제 2 연마 공정을 수행하여 평탄한 제 3 연마 대상막을 형성한다. 따라서, 기판의 손상을 최소화하고 평탄도를 개선할 수 있다.