불화가스 분리 및 회수장치, 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 회수방법

본 발명은 불화가스 분리 및 회수장치, 및 이를 이용한 불화가스 분리 및 회수방법에 관한 것으로, 상세하게는 불화가스 분리장치 및 불화가스 회수장치를 포함하는 불화가스 분리 및 회수장치에 있어서, 상기 불화가스 분리장치는 상기 불화가스를 포함하는 혼합가스가 공급되는 가스공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되는 주입구, 불화가스가 분리되는 분리막, 상기 분리막에서 불화가스가 분리된 비불화가스가 배출되는 투과구 및 상기 분리막에서 분리된 불화가스가 배출되는 배출구를 구비하여 혼합가스로부터 불화가스를 분리하는 분리막 모듈이 하나 또는 그 이상 구비된 분리부; 상기 분리막 모듈의 배출구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 배출되는 불화가스의 유량을 제어하는 배출량 제어부; 및 상기 분리막 모듈의 투과구와 연결되되, 상기 분리막 모듈로부터 비불화가스가 투과되는 구동력을 제공하는 감압펌프를 포함하고, 상기 불화가스 회수장치는 상기 분리장치의 투과구로부터 배출되는 혼합가스를 공급하는 공급부; 상기 가스공급부로부터 혼합가스가 주입되어 불화가스가 흡착되는 불화가스 흡착칼럼이 하나 또는 그 이상 병렬 연결된 흡착부; 상기 흡착부와 연결되어 흡착된 불화가스를 회수하는 감압펌프를 포함하는 불화가스 분리 및 회수장치를 제공한다.