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インコネル基板上に作製した配向性 AlN 薄膜の高圧応答性と高温耐久性
インコネル基板上に作製した配向性 AlN 薄膜の高圧応答性と高温耐久性
2006
ooisi yasusi sen
kisi kazusi
akiyama moribito
noma hiroaki
tahara tatuo
nisizima dai
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