光導波路、製造方法、および光素子

1992 
(57)【要約】 【目的】 耐光損傷特性に優れたニオブ酸リチウム単結 晶及びこれを用いた光素子を提供する。 【構成】 コングルエント組成ニオブ酸リチウム単結晶 またはタンタル酸リチウム単結晶の基板上に、五酸化バ ナジウム(V2O5)もしくは、三酸化ボロン(B2O 3)もしくは(LiF)もしくは五酸化モリブデン(M o2O5)もしくは五酸化タングステン(W2O5)の いづれか1種類もしくは2種類以上のフラックスを用い たLPE法あるいは気相成長法で結晶組成がコングルエ ント組成よりもリチウム成分が少ないLi 2 O/(Li 2 O+Nb 2 O 5 )のモル分率で0.45より大きく0.4 86より小さい範囲のニオブ酸リチウム単結晶の光導波 路を形成し、さらにSHG素子または光変調素子にこの 光導波路を用いる。
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