Composes a base de ruthenium, leur procede de preparation, et films minces contenant du ruthenium fabriques a partir de tels composes

La presente invention concerne un complexe de bis(cyclopentadienyl)ruthenium contenant au moins un element choisi parmi le sodium, le potassium, le calcium, le fer, le nickel et le zinc en une teneur maximale de 5 ppm; et un complexe de bis(cyclopentadienyl)ruthenium incorpore de 10 a 100 ppm de rhenium. Ces complexes sont utiles pour la depot chimique metal-oxyde en phase vapeur et permettent d'obtenir des films minces contenant du ruthenium.