感放射線性樹脂組成物、レジストパターン形成方法、酸発生剤及び化合物

【課題】本発明の目的は、ＬＷＲに優れたレジストパターンを形成可能な感放射線性樹脂組成物を提供することである。 【解決手段】本発明は、［Ａ１］放射線の照射により下記式（１）で表される化合物を発生する酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物である。式（１）中、Ｒ １ は、炭素数１〜２０の１価の有機基である。Ｒ ２ は、水素原子又は炭素数１〜２０の１価の有機基である。上記式（１）で表される化合物は、下記式（１−１）で表される化合物であることが好ましい。式（１−１）中、Ｒ ２ は、上記式（１）と同義である。Ｘは、電子求引性基である。Ｒ ３ は、炭素数１〜２０の１価の有機基である。 【選択図】なし