Conductive oxide Direktzugriffspeicher- (Coram) cell and process for their preparation

Es sind leitende Oxid-Direktzugriffspeicher-(CORAM)Zellen und Verfahren zur Herstellung von CORAM-Zellen beschrieben. Zum Beispiel enthalt ein Materialschichtstapel fur ein Speicherelement eine erste leitende Elektrode. Eine Isolierschicht ist auf dem ersten leitenden Oxid angeordnet und hat eine Offnung mit Seitenwanden, die einen Teil der ersten leitenden Elektrode freilegt. Eine leitende Oxidschicht ist in der Offnung, auf der ersten leitenden Elektrode und entlang den Seitenwanden der Offnung angeordnet. Eine zweite Elektrode ist in der Offnung auf der leitenden Oxidschicht angeordnet.